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新品ULVAC愛發科 濺射離子泵PST 系列
新品ULVAC愛發科 濺射離子泵PST 系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標配熱傳感器
熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。
特點
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴展了設備設計的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實現小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運行時以及泵停止時，碳氫化合物的回流很少。
用途
分析設備、研究開發設備、實驗設備等的主排氣系統
蒸發設備、濺射設備等著排氣系統
H2、He等輕氣體主排氣系統
| 型號 | PST-030CU | PST-030AU | PST-050CU | PST-050AU | PST-100CX | PST-100AX | |
| 主要對象氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | |
| 排氣速度* (再生排氣速度) | 0.03m3/s (N2 測定時) | 0.013m3/s (Ar 測定時) | 0.045m3/s (N2 測定時) | 0.016m3/s (Ar 測定時) | 0.10m3/s (N2 測定時) | 0.05m3/s (Ar 測定時) | |
| 到達壓力 | 10-9Pa | ||||||
| 動作壓力 | 推薦值 | <8.0×10-3Pa | <5.0 x 10-3Pa | ||||
| 內容積 | 0.67 X 10-3m3 | 1.3x10-3m3 | 3.3x10-3m3 | ||||
| 泵元件數量 | CU型單元×1 式 | AU sell×1式 | CU sell×1 | AU sell×1 | CX sell×1 | AX sell×1 | |
| 連接法蘭規格 | UFC070 | UFC114 | UFC152 | ||||
| 施加電壓 | DC+7.5kV | ||||||
| 加熱器 | 無設定 | AC200V, 300W | AC200V, 320W | ||||
| 烘烤溫度 | 250℃ | ||||||
| 質量 | 9.5 kg | 12kg | 37kg | ||||
| 外形尺寸 | W x H x D | 103×183×187 mm | 153×204×241mm | 155×336×340mm | |||
| 使用環境 | 溫度范圍 | 5~40℃ | |||||
| 濕度范圍 | 85%以下(無結露) | ||||||
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4處-M5 深10mm | 4處-M8 深6mm | |||||
| 推薦的控制器 | GST-07L-B | ||||||
*1 GST-07L-B型控制器使用時
| 型號 | PST-110AU | PST-200CXII | PST-200AXII | PST-400CXII | PST-400AXII | |
| 主要對象氣體 | 活性氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | 活性氣體 | 希有氣體 | |
| 排氣速度* (再生排氣速度) | 0.11m3/s (N2 測定時) | 0.2m3/s (N2 測定時) | 0.02m3/s (Ar 測定時) | 0.36m3/s (N2 測定時) | 0.19m3/s (Ar 測定時) | |
| 到達壓力 | 10-9Pa | 10-10Pa | ||||
| 動作壓力 | 推薦值 | <4.5x10-3Pa | <3.8x10-3Pa | <3.0x10-3Pa | ||
| 內容積 | 6.5x10-3m3 | 11x10-3m3 | 14x10-3m3 | |||
| 泵元件數量 | AU sellx1 | CX sell×2 | AX sell×2 | CX sell×4 | AX sell×4 | |
| 連接法蘭規格 | UFC152 | UFC203 | ||||
| 施加電壓 | DC+7.5kV | |||||
| 加熱器 | 無設定 | AC200V, 600W | AC200V, 800W | |||
| 烘烤溫度 | 250℃ | |||||
| 質量 | 36.5kg | 65kg | 124kg | |||
| 外形尺寸 | W x H x D | 171×387×293mm | 296×361×376mm | 296×544×376mm | ||
| 使用環境 | 溫度范圍 | 5~40℃ | ||||
| 濕度范圍 | 85%以下(無結露) | |||||
| 固定泵的螺栓孔尺寸 | 4處-M6 深5mm | 4處-M8 深15mm | 6處-M8 深度15mm | |||
| 推薦的控制器 | GST-07L-B | |||||
*1 GST-07L-B型控制器使用時
| 型號 | GST-07L-B | ||
| 輸入規格 | 輸入電壓、電流 | AC100～115V±10% ? 50/60Hz～3.0A | |
| AC200～240V±10% ? 50/60Hz～1.5A | |||
| 泄露電流 | 6mA以下 | ||
| 輸入電壓切換方式 | 手動(通過電源內部DIP開關操作) | ||
| 輸出規格 | 額定電壓 | DC +7.5kV(約1.0~7.5kV大小可變) | |
| 額定電流 | DC30mA以下 | ||
| 輸出極性 | 正極性 | ||
| 輸出特性 | 恒壓特性 | ||
| 顯示方式 | 數字顯示(7段 LED顯示） | ||
| 表示范圍 | 輸出電流顯示范圍 | 1μA~30mA(mA, μA兩種單位自動切換) | |
| 輸出電壓顯示范圍 | 0.0～7.5 kV DC | ||
| 壓力顯示 | Pa | 1×10-8～1×10-2 | |
| mbar | 1×10-10～1×10-4 | ||
| 壓力設定點 | 2點 | ||
| 保護功能 | 錯誤顯示/配備各種保護功能 | ||
| 顯示亮燈，高電壓 (HV) 輸出斷開 (Err. 0-8) | |||
| 停電后的恢復 | 在HV-ON開關處于ON狀態時，停電后可自動恢復。 | ||
| 外部控制功能 | 各種輸入功能 (付REMOTE接頭), 搭載RS232C通訊控制 | ||
| Monitor端子輸出信號 | 根據面板7位顯示比例的輸出, 各段DC0～10V F.S | ||
| 允許負載阻抗100kΩ以上 | |||
| REMOTE/LOCAL | 通過前面板的開關進行切換 | ||
| 冷卻方式 | 強制空冷方式 | ||
| 質量 | 本體 : 4.0kg | ||
| 外形尺寸 | W×H×D | 200 x 99 x 370 mm (架子安裝五金件除外) | |
| 使用環境 | 溫度范圍 | 0 ～ 40℃ | |
| 濕度范圍 | 85%以下(無結露) | ||
| 符合規格 | CE, cTUVus | ||
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