新產品ULVAC愛發科 通用渦輪分子泵YTP系列

新產品ULVAC愛發科 通用渦輪分子泵YTP系列

可直連羅茨泵（MBP）

使用MBP安裝組件可無需支架直接搭載MBP。

標配熱傳感器

熱傳感器可以監測真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。

內置油霧過濾器的大容量油箱

大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內置方便更換的盒式濾芯。

被油霧過濾器回收的油會自動回到泵內。 油凈化裝置去除混入的雜質。

 特點

輔助泵可以選擇：輔助泵除了可以選擇搭載油回轉泵的標準型以外，還可以選擇搭 載干泵的規格。

優良的停電對策：前級閥門為標配的電磁閥，防止停電時候逆流發生故障。

可確認粗抽狀況：標配有皮拉尼真空計，可在粗抽排氣過程中確認壓力

可排氣至UHV區

安裝選購配件的烘烤加熱器并進行脫氣處理，可以排氣至UHV區。 (*產品規格值)

用途

從大氣壓到高真空的排氣系統

各種實驗、研究裝置的排氣系統

高純氣體的真空置換

超高真空裝置的粗抽排氣系統

分析裝置的排氣系統

規格

規格

*1：烘烤僅可在ICF法蘭規格下進行。
*2：排氣速度為無防護網時的值。
*3：無保護網下的值。