新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

新款ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵節(jié)電配件

特點

通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

當(dāng)使用干泵時可選配，用于降低排氣噪音。

特點

大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。

ECO-SHOCK技術(shù)實現(xiàn)低功耗（C型號）

　極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）

配有專用的消音器

　極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低

無需先前所需要的軸封氣體

　※L型可以使用稀釋氣體。

排氣速度120-1200 m3 / h級　※可與機械增壓泵結(jié)合使用

　可以根據(jù)應(yīng)用選擇最佳排氣能力的型號

得點

出色的消音效果

可以通過卡箍連接到泵的排氣口

規(guī)格

*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動啟動/停止時可以通過跳轉(zhuǎn)控制連接器的PIN，來ON/OFF電路保護器。*3 ES10標配一個閥單元

效果例

ES4A

*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復(fù)排氣60秒節(jié)拍的測量示例。

ES10

*1 電源頻率60Hz
*2 功耗為極限壓力時的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封氣體、吹掃氣體流量0Pa?m3/s時。取決于密封氣體、吹掃氣體流量

尺寸圖

閥門單元 尺寸圖

ES4A NW40	ES4A NW50
ES10