日本HORIBA堀場 通用氣體濃度監(jiān)測儀

日本HORIBA堀場 通用氣體濃度監(jiān)測儀

隨著半導(dǎo)體制造薄膜沉積工藝中微細(xì)加工的進(jìn)步，處理后保持腔室清潔對于提高生產(chǎn)率變得非常重要。 IR-400系列是用于薄膜沉積工藝的腔室清潔終點(diǎn)檢測監(jiān)視器，可實(shí)時監(jiān)測廢氣成分（SiF4、CF4）。通過優(yōu)化干洗終點(diǎn)檢測、減少清潔氣體消耗和時間以及減少室損壞，有助于延長零件的使用壽命。

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執(zhí)行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數(shù)字校正功能，實(shí)現(xiàn)設(shè)定點(diǎn)精度

全流量范圍快速響應(yīng)：1秒內(nèi)完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內(nèi)（上升、下降、設(shè)定值到設(shè)定值）響應(yīng)時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進(jìn)的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復(fù)性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應(yīng)

級別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設(shè)備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結(jié)構(gòu)，盡管其尺寸最小，但仍實(shí)現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當(dāng)測量總壓力高達(dá) 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準(zhǔn)備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準(zhǔn)過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設(shè)備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設(shè)備。它還具有適合設(shè)備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實(shí)現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。