進口HORIBA堀場 激光氣體分析儀設備

進口HORIBA堀場 激光氣體分析儀設備

配備PI功能
配備最新算法，即使面對快速的壓力波動也能實現穩定的流量控制，允許設計消除每個氣體管路的壓力控制功能。實現燃氣管路的簡化。多量程/多氣體功能允許用戶更改氣體類型和滿量程流量1秒內全量程快速響應由于不需要調節器、壓力表和過濾器，有助于使燃氣管道更加緊湊。不受一次壓力或二次壓力波動的影響配備入口壓力傳感器配備多顯示功能高精度
1% SP保證流量精度超潔凈
金屬膜片，全不銹鋼，內部拋光標準內置網絡功能，采用數字信號控制。

尺寸緊湊，

可選擇的通信方式

陣容：數字/模擬、DeviceNet™、PROFIBUS®、CC-Link®、EtherCAT®

通訊方式    驅動電源    產品型號

數字通訊

可滾動的

寬廣的流量控制范圍，從 10 SCCM 到 1000 SLM

流量控制范圍可以從滿量程流量值的 2% 開始執行

高精度：±1.0% 提高 SP 流量精度

配備數字校正功能，實現設定點精度

全流量范圍快速響應：1秒內完成全量程

配備多氣體/多量程功能，

允許用戶改變氣體類型和滿量程流量。

在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

實現了高生產率并提高了工藝性能。

減少批量生產穩健的 CIP 壓力傳感器的停機時間和工時，實現  

PFA 噴嘴的閥門關閉性能和耐磨性提高了 10 倍以上

，從而減少了停機時間并優化了產量。

狀態監控功能

提供更多內部數據并實現更智能的故障預測。

  HORIBA專有的紅外氣體分析技術“IRLAM TM "（紅外激光吸收調制），可實時測量半導體制造蝕刻過程中產生的廢氣成分SiF4，并檢測微量的SiF可以從4中檢測端點的變化。