日本ORC歐阿希 VUE-3020-172手持式準分子照射裝置
日本ORC歐阿希 VUE-3020-172手持式準分子照射裝置
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。
采用254nm波長， 去除電荷。
單波長允許低溫處理。
用低入射角紫外線有效照射目標區域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數據擦除。
這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。
阻焊劑形成
FC-BGA板/FC-CSP板AiP等各種模塊板HDI板
各種其他敏感材料的曝光
Photovia、覆蓋膜等
實現了40μm的抗蝕劑開口，這對應于封裝基板的小型化。 (EDi-5308)配備新型UV燈光源，光強度顯著提高，與之前的型號相比，生產率提高了10%。 (EDi-8308)由于紫外燈光源的寬帶波長，可以使用多種敏感材料。高精度校正技術DAT和新型高精度平臺實現了6μm的高位置精度（EDi-5308）通過Die by Die對齊功能（可選功能）解決FO-PLP的Die移位問題兼容最大 25"X32" 的大型板 (EDi-8310)
規格
| 模型 | VUE-3020 |
|---|---|
| 使用的燈 | 特殊準分子燈 x 1 燈 |
| 燈尺寸 | Φ10×L50mm |
| 燈發射波長 | 172nm?207nm?222nm?308nm* |
| 有效照射范圍 | 42毫米×4毫米 |
| 電源 | AC100V 0.5A 50/60Hz 共用 |
| 電力 | 20W |
| 外形尺寸 | 寬130×深73×高217毫米 |
| 重量 | 1.35公斤 |
*照射波長為單一波長，可從列出的波長中選擇。當紅色波長點亮時會產生臭氧。暴露于高濃度臭氧可能危害您的健康。請務必在允許進排氣的環境中使用本產品。
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