產品分類
Product Category一、產品概述
EBARA荏原機械的ESA700W真空渦輪分子泵專為高真空應用設計,采用渦輪分子泵原理,通過高速旋轉葉片將氣體分子從入口推向出口,實現快速抽氣。其三級渦輪結構優化了氣體動力學性能,確保在寬壓力范圍內的高效抽氣能力,適用于半導體制造、科研實驗等對潔凈真空環境要求嚴苛的領域。該泵通常與羅茨泵或干式機械泵組成前級系統,形成完整的抽氣單元,滿足從粗真空到高真空的連續過渡需求。
二、詳細技術參數
抽氣性能
抽氣速度:在分子流區(高真空范圍)表現,具體數值需根據實際工況調整,適用于快速清除氣體分子負載,提升工藝效率。
抽氣曲線:提供寬壓力范圍內的穩定性能,優化氣體排除效率,確保從粗真空到高真空的平滑過渡。
物理特性
尺寸與重量:緊湊型設計便于集成,重量適中以減少安裝負擔,具體尺寸請參考技術手冊。
材質:采用高強度合金和耐腐蝕涂層,增強耐用性,適應半導體制造等腐蝕性環境。
運行參數
轉速范圍:高速旋轉(通常數千至數萬轉/分鐘),通過動平衡技術實現低振動運行,噪音控制在50分貝以下,適用于對振動敏感的精密儀器。
溫度范圍:工作溫度適應性強,內置溫度監控系統防止過熱,確保長期穩定運行。
電氣與能耗
電源要求:標準電壓配置,支持高效電機設計,顯著降低能耗,符合節能環保標準。
功率消耗:相比傳統泵類,電力需求更低,減少長期運營成本。
接口與連接
進氣口/出氣口:標準化法蘭接口,便于與真空系統無縫集成,支持快速安裝和維護。
控制接口:配備電子通信端口,支持實時數據監控和遠程參數調整,增強智能控制能力。
環境與安全
防護等級:符合工業安全規范,具備防塵和防潮特性,保障在惡劣條件下的可靠性。
無油設計:避免潤滑油污染,特別適合潔凈室和敏感工藝環境,如光學鍍膜和有機合成。
維護與壽命
維護周期:低維護需求設計,通過預防性監控減少停機時間,延長設備壽命。
預期壽命:在正常使用條件下,超過10年的耐用性,降低總擁有成本。
三、核心技術優勢
高效抽氣能力:渦輪葉片經流體動力學優化,減少氣體回流,確保高氣體負荷場景下的穩定性能。
節能環保:無油設計避免污染,同時高效電機降低電力消耗,支持綠色制造理念。
智能控制:集成電子系統,實時監測運行狀態(如轉速、溫度、振動),支持遠程調整,實現預防性維護。
四、應用場景
半導體制造:用于刻蝕、離子注入等工藝,提供潔凈高真空環境,提升生產效率和良品率。
科研與實驗室:在電子顯微鏡、粒子加速器中維持穩定真空條件,保障實驗準確性。
鍍膜與涂層技術:減少氣體分子對鍍膜層的污染,提高涂層均勻性和附著力。
新能源與化工:在鋰電池制造、有機合成中排除反應氣體,確保工藝安全性和產品純度。
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